Tecnologia CVD: A Pedra Angular da P&D e Produção de Novos Materiais

Introdução

Desde o laboratório até a linha de produção em massa, os equipamentos CVD servem como a plataforma central para a fabricação de novos materiais.e das células fotovoltaicas aos revestimentos ópticos, todos estes produtos baseiam-se na mesma tecnologia de deposição química de vapor (CVD).Este processo é responsável pelo crescimento de filmes finos funcionais à escala atómica e é o processo chave que permite que novos materiais passem do laboratório para a produção em massa.

01 O que é a Tecnologia CVD?

A tecnologia CVD é um processo no qual os precursores gasosos são introduzidos numa câmara de reação,onde são submetidos a reacções químicas em contacto com a superfície do substrato aquecido para depositar uma película sólida ou um revestimentoAo contrário dos métodos tradicionais de revestimento, o processo de formação de filme em CVD prossegue átomo por átomo, permitindo um controle preciso sobre a composição, espessura e estrutura do filme.Não é o mesmo que a deposição física de vapor (PVD): PVD depende de meios físicos para transferir material, enquanto CVD depende de reações químicas para gerar material.

As linhas de produção de deposição de película fina CVD para wafers de semicondutores são um excelente exemplo da aplicação em larga escala da CVD.

02 Por que a doença cardiovascular é fundamental para a pesquisa, desenvolvimento e produção de novos materiais?

1. Alta precisão

A CVD pode depositar filmes de apenas alguns nanômetros de espessura, atendendo aos rigorosos requisitos de uniformidade de espessura de filme em dispositivos semicondutores.

2Alta pureza.

Tomemos como exemplo os precursores de grau eletrônico: a pureza deve atingir a faixa de 99,9999%, e o controle de impurezas determina diretamente o rendimento da bolacha.

3Produção em grande escala

A produção em larga escala é viável. Materiais de ponta, como grafeno, filmes de diamante, carburo de silício e nitreto de gálio, todos dependem da CVD como sua principal rota de fabricação.De amostras de laboratório de 2 polegadas para wafers de produção em massa de 12 polegadasA CVD possui a capacidade técnica de preencher a lacuna entre a I&D e a produção em massa.Lâmpadas LED, e revestimentos avançados, tornando-a uma tecnologia de nível de infra-estrutura para a industrialização de novos materiais.

03 O processo CVD baseia-se num sistema de gás especial

Shenzhen Wofly Technology Engenharia de Sistemas Especiais de Gás

Os reagentes utilizados na CVD são gases especiais, tais como silano (SiH4), amônia (NH3), óxido nitroso (N2O) e hexafluoroetano (C2F6).e controlo de pressão determinam directamente a qualidade da película depositada e a segurança da produçãoUm sistema completo de gás especial consiste num gabinete de gás especial (GC), tubulação de alta pureza, válvulas e acessórios, detecção de fugas e tratamento de gases de escape (limpador):Após ter sido regulado a pressão e interligado no gabinete de gás especial, os gases das garrafas são entregues ao equipamento de processamento através de tubulações de alta pureza; os gases de escape de reação são então tratados pelo depurador e descarregados em conformidade com as normas regulamentares.Dado que gases como o silano são inflamáveis e explosivos, o sistema deve estar equipado com alarmes de fuga, desligamento de emergência e ventilação integrada dos gases de escape.

Gabinete especial de gás (GC)

Produtos de gabinetes de gás especializados de Shenzhen Wofly Technology

Válvulas e acessórios / tubulação de alta pureza

Shenzhen Wofly Technology VMB Valve Assembly Piping

Tratamento de gases de escape (limpador)

Equipamento de tratamento de escape da tecnologia Shenzhen Wofly

Tecnologia Wofly

Fornecimento de serviços de engenharia de sistemas de gás especializados para a indústria CVD

O gabinete de gases especiais (GC) totalmente automático da Wofly Technology foi projetado para a entrega segura e estável de gases especiais de alta pureza.

Fundada em 2011, a Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. é uma empresa de alta tecnologia de nível nacional e uma pequena empresa gigante reconhecida sob a especializada, refinada, distinta,e Programa InovadorA empresa detém uma qualificação nacional de contratação profissional para engenharia de instalações mecânicas e elétricas de edifícios e é especializada em engenharia de sistemas de aplicação de gás.Wofly Technology fornece serviços de ponta a ponta para a indústria relacionada com CVD, que vão desde a consultoria técnica, o planeamento geral, a concepção do sistema, a selecção do equipamento e dos componentes pré-fabricados até à instalação no local e ao ensaio do sistema.O seu âmbito de actividade abrange sistemas eletrónicos de tubulação de gás especializados, sistemas de abastecimento de gás de laboratório, sistemas centralizados de abastecimento de gás, sistemas de gás a granel, tubulações secundárias para gases de alta pureza e gases de processo especiais,bem como sistemas de transferência química e água pura.

Shenzhen Wofly Technology Engenharia de Sistemas Especiais de Gás

O gabinete de gás especial totalmente automático (GC) desenvolvido independentemente pela Wofly Technology possui um PLC como núcleo de controle e está equipado com bloqueios de segurança, alarmes de vazamento,e funções de desligamento automático; o sistema de tratamento de gases de escape Scrubber garante a eliminação dos gases de escape do processo em conformidade;e as válvulas e os acessórios das marcas Aofei Ke AFK® e Afklok® da empresa satisfazem os requisitos para o transporte de meios de alta purezaAs soluções da Wofly Technology foram implantadas em indústrias como semicondutores, TFT-LCD, fotovoltaicos, biofarmacêuticos e institutos de investigação.O sistema de tratamento de gases de escape Scrubber fornece a garantia final para a conformidade ambiental nos processos CVD.