A utilização de gases na indústria de semicondutores remonta ao início dos anos 50 e 60.Os gases são utilizados principalmente para limpar e proteger materiais semicondutores para garantir a sua pureza e qualidade.Entre os gases mais utilizados estão o azoto e o hidrogénio.
Com o desenvolvimento da tecnologia de semicondutores e a melhoria dos processos de fabricação, a demanda por gases aumentou.A aplicação de gases em processos-chave como a gravação e a deposição de películas finas aumentou gradualmente, e gases de flúor (por exemplo, SF6) e oxigênio tornaram-se gases de gravação e deposição comumente usados.Em 1980 verificou-se um novo aumento da procura de gases com o desenvolvimento de circuitos integrados e o aumento da procura por estesO hidrogénio foi amplamente utilizado no processo de fabricação, incluindo o recozimento de hidrogénio e a deposição de vapor de hidrogénio.A demanda por gases de alta pureza e gases específicos aumentou à medida que os tamanhos dos dispositivos semicondutores continuaram a diminuir e novos processos foram introduzidos.Por exemplo, a aplicação da litografia ultravioleta extrema (EUV) requer a utilização de gases de elevada pureza, tais como o nitrogénio e o hidrogénio.
O gás semicondutor continua a aumentar com o desenvolvimento de produtos relacionados impulsionados por mais e mais produtos são revelados, enquanto o gás também pertence à fonte de perigo,Assim, os produtos utilizados para descompressão de gás, produtos de detecção de gás e produtos de prevenção de fugas de gás surgiram, tais como reguladores de pressão, válvulas de gás, manômetros de pressão de gás, detector de fugas de gás, etc., e as suas funções são as seguintes:
Reguladores de pressão: Os reguladores de pressão são dispositivos usados para controlar a pressão do gás.Os reguladores de pressão tomam uma entrada de gás de alta pressão e estabilizam a pressão do gás de saída ajustando a válvula para atender aos requisitos específicos da aplicaçãoOs reguladores de pressão são amplamente utilizados em áreas como indústria, manufatura e laboratórios, bem como na indústria de semicondutores, entre outros.para assegurar a estabilidade e segurança do abastecimento de gás.
Valvas de gás:As válvulas de gás são usadas para controlar o fluxo de gases e fechar passagens de gás.incluindo as válvulas manuaisSão amplamente utilizadas em sistemas de gás para controlar o caudal, a pressão e a taxa de caudal dos gases.
Medidores de pressão de gás:Os manômetros de pressão de gás são usados para medir o nível de pressão de um gás.Eles são normalmente instalados em locais críticos nos sistemas de gás para monitorar as alterações de pressão e garantir que estão dentro dos limites de segurançaOs manômetros de pressão de gás são amplamente utilizados na indústria, na manufatura e nos laboratórios, e a indústria de semicondutores também esteve envolvida.
Detectores de fugas de gás:Os detectores de fugas de gás são utilizados para detectar fugas nos sistemas de gás. Eles detectam a presença de fugas de gás e emitem um alarme para que possa ser tomada ação oportuna para prevenir acidentes de fugas.Os detectores de fugas de gás são amplamente utilizados na indústria, aplicações químicas, de petróleo e gás, e a indústria de semicondutores também estiveram envolvidas.