Como os gás são usados na fabricação do semicondutor

August 13, 2022
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A indústria do semicondutor é uma indústria global enorme, que continue a crescer cada ano, assim que significa que a procura para gás da alto-pureza aumentará em conformidade.

Ter uma fonte segura do gás da alto-pureza é essencial para a fabricação do semicondutor, especialmente em tecnologias avançadas tais como telefones espertos e o veículo autônomo.

O processo de produzir circuitos integrados é muito complexo, exigindo mais de 30 gás diferentes em todas as fases, que faz a escala dos gás usados um do mais amplamente utilizados em toda a indústria.

O gás é uma parte importante de fabricação do semicondutor, porque pode produzir as reações químicas exigidas para dar forma às características elétricas dos semicondutores. Devido a sua complexidade, o gás usado em cada fase do processo de manufatura precisa de ser exato e exato para configurar corretamente o semicondutor.

Com o desenvolvimento contínuo da indústria do semicondutor, os gás usados no processo igualmente estão tornando-se. Alguns dos gás do núcleo usados incluem o nitrogênio, o oxigênio, o argônio e o hidrogênio. Nós discutiremos seus papéis no processo de manufatura detalhado.

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Nitrogênio

Devido a seus disponibilidade e inertness, nitrogênio é o gás do núcleo usado em cada etapa do processo de manufatura do semicondutor, mas sua utilização principal está na fase de remoção. Nesta fase, o nitrogênio é usado para nivelar cada rede do canal e da tubulação para remover todo o oxigênio nas máquinas e nas ferramentas, para protegê-los de outros gás que podem contaminar o processo.
Além, a maioria de fábricas do semicondutor são equipadas com os geradores do nitrogênio no local devido ao grande uso do nitrogênio no processo inteiro. Mais importante, com a produção de smartphones da alto-tecnologia e de outras tecnologias, é imperativo manter o ponto baixo custado ao tentar encontrar a alta demanda.
Você pode dizer que o nitrogênio mantém ferramentas, espaços e tubulações longe de toda a umidade potencial, contaminadores químicos e partículas. É um gás essencial, que seja usado durante todo o processo desde o início à extremidade, que não é nenhuma maravilha porque instala geradores no local.

 

Oxigênio

Como você sabe, o oxigênio é um oxidante, assim que é essencial produzir uma reação do depósito. É usado para crescer camadas do óxido de silicone para vários elementos no processo, tal como máscaras da difusão.
Quando o oxigênio é usado para a fabricação do semicondutor, o gás deve ser pureza ultra-alta para impedir que toda a impureza afete a produção e o desempenho do dispositivo.
Durante o processo de gravação com água-forte, o oxigênio é usado igualmente para remover todo o desperdício material adicional gerou. Pode igualmente ser usado para fazer todo o teste padrão de gravação com água-forte permanente.
Finalmente, o oxigênio igualmente ajuda a neutralizar gás reativos com as reações da oxidação que podem mudar a qualidade de produto. Consequentemente, como o nitrogênio, o oxigênio igualmente ajuda a assegurar-se de que nenhuma poluição ocorra.

 

Argônio

O argônio é usado principalmente para o depósito e processo gravar no laser ultravioleta da litografia, e usado para fazer o teste padrão o menor na microplaqueta do semicondutor.
Durante a fabricação da bolacha de silicone exigida, o gás do argônio é usado para proteger o cristal do silicone formado na bolacha de toda a reação potencial com oxigênio e nitrogênio durante o processo de alta temperatura do crescimento.
Porque o argônio é igualmente um gás muito inerte, é usado para fornecer um ambiente não reativo para o metal que engasga o depósito. Às vezes a reatividade do nitrogênio é demasiado forte, que conduzirá à formação de nitretos do metal.
Além, o argônio líquido é usado com ferramentas para limpar as microplaquetas as menores e as mais frágeis.

 

Hidrogênio

O uso do hidrogênio na fabricação do semicondutor pode aumentar devido a uma procura mais alta. Especialmente na fase da fotolitografia, o hidrogênio é usado para reagir com a lata química para produzir o hidruro da lata. O hidruro da lata é exigido de modo a para não acumular em elementos óticos caros.
É usado para o depósito epitaxial do silicone e do germânio do silicone no processo do depósito, e igualmente para a preparação de superfície pelo processo de recozimento.
O hidrogênio é usado para criar uma camada nova do óxido para alterar o filme fino existente. Este processo ocorre em ambientes de alta pressão e de alta temperatura, assim que significa que o controle do caudal, da temperatura e da pressão é muito importante.
Além, o hidrogênio é usado igualmente na fase de lubrificação para ajudar a controlar a decomposição, porque o gás usado neste processo é altamente tóxico. Tão muitos que precisam de ser armazenados em um dispositivo que possa impedir o escapamento.
Diborane é igualmente um produto químico usado no processo de lubrificação, mas devido à instabilidade térmica, decomporá lentamente, assim que o hidrogênio é necessário ajudar a estabilizá-la.

 

Semicondutores no dia a dia

Os semicondutores são usados em todos os tipos do equipamento diário, tais como computadores, smartphones, televisões, e igualmente em tecnologias avançadas, tais como o equipamento médico, sistemas militares e muitas outras aplicações.
São parte de nosso dia a dia e nós não os observamos porque existem nos dispositivos que nós usamos cada dia. Sem semicondutores, nós não poderemos fazer muitas coisas. Com o desenvolvimento da tecnologia de semicondutor, tornar-se-ão mais seguros, inteligentes e compactos.
De uma comunicação, o transporte e o entretenimento, estes são somente uma parte pequena de que semicondutores fizeram para nós. Tecnologia e inovação do futuro da força de vontade, permitindo nos de fazer coisas nós nunca imaginaram.