À medida que o mercado de semicondutores cresce, os padrões de pureza e precisão tornam-se mais rigorosos.Um dos factores determinantes da qualidade da fabricação de semicondutores são os gases utilizados no processoEstes gases desempenham vários papéis no processo de fabrico, incluindo:
Controle de processo de precisão
Prevenção da contaminação
Melhoria das propriedades metalúrgicas
Para desempenhar eficazmente estas funções, o sistema de abastecimento e distribuição de gás deve ser eficiente.O projeto dos sistemas de manipulação de gás utilizados na fabricação de semicondutores deve ser apoiado por componentes robustos e conjuntos personalizados para garantir uma produção de semicondutores confiável e de alta qualidade.
Gases utilizados na fabricação de semicondutores
O processo de fabrico de semicondutores requer a utilização de gases diferentes em diferentes fases do processo.
Embora os gases comuns, como o nitrogénio, o hidrogénio, o argónio e o hélio, possam ser utilizados na sua forma pura, certos processos podem exigir misturas especializadas.Os halogenetos e os hidrocarbonetos são alguns dos gases especiais utilizados na fabricação de semicondutoresMuitos destes gases podem ser perigosos ou altamente reativos, criando desafios na selecção e concepção de componentes para sistemas de gás.
Eis alguns exemplos:
O hidrogênio e o hélio podem facilmente vazar de tubulações e sistemas de montagem devido ao seu pequeno tamanho atômico e peso.
Os silanos são altamente inflamáveis e podem incendiar-se espontaneamente (auto-ignitar) no ar.
O difluoreto de azoto utilizado nas fases de deposição, gravação e limpeza de câmara torna-se um potente gás com efeito de estufa quando vazado para o ambiente.
O fluoreto de hidrogénio (gás de gravação) é altamente corrosivo para tubulações metálicas.
O trimetilgállio e a amônia podem ser difíceis de manipular - pequenas flutuações nas suas exigências de temperatura e pressão podem afetar o processo de deposição.
O controlo das condições de processo para minimizar os efeitos negativos destes gases deve ser uma prioridade durante a concepção do sistema.É igualmente importante utilizar componentes da mais alta qualidade, tais como válvulas de diafragma AFK durante o processo de construção.
Abordar os desafios do projeto do sistema
Os gases de grau semicondutor são, na maioria dos casos, de alta pureza e fornecem condições inertes ou aumentam as reações em diferentes estágios do processo de fabricação, como gases de gravação e deposição.A fuga ou a contaminação de tais gases podem ter efeitos negativosPor conseguinte, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Além disso, alguns destes gases podem ser aquecidos ou resfriados para atingir as condições de processo desejadas.que é fundamental para o desempenho eficiente do produto final.
Desde a entrada da fonte até o ponto de utilização, a ampla gama de componentes da AFK suporta a ultra-alta pureza, temperatura,Requisitos de controlo da pressão e do caudal em salas limpas e câmaras de vácuo de semicondutores.
Sistemas concebidos com componentes de qualidade em fabricantes de semicondutores
O papel dos componentes de qualidade e da otimização do projeto é fundamental para o controle preciso e a fabricação segura de semicondutores.Os componentes utilizados devem ser robustos e sem fugas para corresponder às diferentes condições de processo exigidas em diferentes fases de fabricoAs válvulas, os acessórios, os reguladores, as tubulações e os suportes de vedação de alta qualidade da AFK caracterizam-se pelas seguintes características:
Ultra-alta pureza
Segamentos sem vazamento
Isolamento controlado a temperatura
Regulação da pressão
Resistência à corrosão
Tratamento eletrolítico de polimento