O processo de produção de gás eletrônicos da especialidade inclui diversos processos tais como a síntese, a purificação, o enchimento, a análise e o teste, a mistura e proporcionar. A fim cumprir as exigências de fabricação do semicondutor a jusante para o índice da pureza e de impureza, o processo da purificação é muito importante. Segundo a composição do gás de síntese ascendente ou do gás cru, a destilação da baixa temperatura ou a purificação de vários estágios são executadas.
Exigências altas da limpeza
O processo da preparação de gás especiais eletrônicos pode ser dividido em dois blocos principais de preparação e de purificação ascendentes da síntese, que pertence ao processo de produção químico. O tamanho do encanamento da produção é grande, e não há nenhuma exigência especial do nível de limpeza. Após a purificação a jusante, o produto é enchido com o gás e misturado para a preparação. O encanamento da produção é pequeno e tem exigências do nível de limpeza. Precisa de encontrar a especificação padrão do processo de manufatura do semicondutor.
Exigências de selagem altas
Devido a sua atividade química, os gás eletrônicos da especialidade igualmente colocam altas demanda nos materiais e selagem do sistema do processo de produção. Apenas como as exigências da fabricação do semicondutor, impede o escapamento da relação causado pela introdução de impurezas ou pela corrosão de gás especiais. O sistema pode igualmente ser usado para impedir a introdução de impurezas ou o escapamento da relação causado pela corrosão de gás especiais.
Exigências de alta qualidade da estabilidade
A qualidade de gás eletrônicos da especialidade inclui um número de indicadores tais como o índice da partícula da pureza e da impureza. Toda a mudança nos indicadores afetará os resultados do processo de manufatura a jusante do semicondutor. Consequentemente, a fim assegurar a consistência dos indicadores especiais eletrônicos do produto do gás, o sistema do processo da preparação para controlar a estabilidade dos indicadores é igualmente muito importante.
Devido às exigências químicas do EGP, o sistema de produção para a preparação do EGP, especialmente o sistema a jusante da atividade e de qualidade da purificação, deve cumprir as exigências de materiais da pureza alta, da selagem alta, da limpeza alta e da consistência de alta qualidade, e a construção de componentes projetados deve encontrar os padrões da indústria de transformação do semicondutor.
O que nós referimos geralmente como “a pureza alta” é teoricamente a definição da pureza de uma substância, tal como gás da pureza alta, produtos químicos da pureza alta, sistemas do processo etc. ou os componentes de sistema do processo que são aplicados às substâncias da alto-pureza são referidos igualmente como a alto-pureza, tal como sistemas da alto-pureza e válvulas da alto-pureza. Os sistemas eletrônicos da preparação do gás da especialidade exigem os encaixes da aplicação da pureza alta, as válvulas, e outros componentes fluidos, isto é, os encaixes e as válvulas que são processados com materiais da pureza alta e processos de manufatura limpos, e são estruturados para a remoção e a limpeza fáceis. Com desempenho de selagem alto. Estes componentes fluidos são projetados encontrar o trajeto do fluxo de processo da aplicação, usando as exigências da engenharia e da construção da indústria do semicondutor.
Conexões de encanamento da pureza alta
As conexões do selo de cara da gaxeta do metal do VCR e as conexões automáticas da solda de extremidade do guia são amplamente utilizadas nas exigências fluidas de exigência do processo da pureza do sistema devido à capacidade para encontrar a transição suave do trajeto do fluxo na conexão, nenhuma zona da estagnação, e as conexões altas da selagem performance.VCR formam um selo de superfície estreito expulsando uma gaxeta relativamente macia do metal. O desempenho repetível e consistente da conexão e da selagem é assegurado cada vez que a gaxeta deformada é removida e substituída.
Os tubos são soldados usando um sistema de solda orbital automático. O tubo é protegido pelo gás da pureza alta por dentro e por fora. O elétrodo do tungstênio gerencie ao longo da órbita para a soldadura de alta qualidade. A soldadura orbital inteiramente automatizada derrete a tubulação sem introduzir outros materiais, conseguindo uma solda de alta qualidade repetidamente controlando a tubulação fino-murada é difícil de conseguir com soldadura manual.
Conexão do selo de cara da gaxeta do metal do VCR
Conexão orbital automática da soldadura de extremidade das tubulações
Válvulas da pureza alta
A atividade química de altas demanda eletrônicas inflamáveis, explosivas, corrosivas, e tóxicas dos lugares dos gás da especialidade na selagem da válvula. A fim melhorar a confiança de selagem, a exigência de válvulas packingless impedir o escapamento externo, isto é, operação de comutação da haste de válvula e o corpo de válvula entre o selo que usa foles do metal ou diafragma do metal, a fim eliminar o escapamento devido à abrasão e à deformação do selo de embalagem. as válvulas Fole-seladas e diafragma-seladas são de uso geral em sistemas do processo para aplicações da alto-pureza devido à confiança maior dos selos e da limpeza e da substituição mais fáceis da remoção dos internals da válvula.
as válvulas Fole-seladas são uma construção packingless da válvula de agulha que permita o regulamento lento da abertura e do fluxo. Usado para o gás eletrônico da especialidade que enche-se com as exigências do fluxo da segurança ou em garrafas da fonte do precursor com as exigências de segurança altas. Os selos inteiramente metálicos da ponta da haste permitem extremamente - baixas temperaturas de funcionamento e são usados para a liquefação criogênica de gás eletrônicos da especialidade nos tanques do produto acabado após a destilação criogênica para conduzir.
A válvula Springless do selo do diafragma é um 1/4" válvula pressão-aberta para o uso como uma válvula de comutação automaticamente controlada no encanamento da entrega. São de uso geral na ultra-alto-pressão, nas aplicações da alto-pureza devido a seu trajeto simples do fluxo interno, no volume interno pequeno, e na facilidade da remoção e da substituição.
as válvulas Diafragma-seladas que se fecham através da ponta da haste podem abrir lentamente e ser usadas em umas pressões de funcionamento mais altas do que válvulas diafragma-seladas não-saltadas. São amplamente utilizados em garrafas eletrônicas de alta pressão da fonte do enchimento ou do precursor do gás da especialidade.
O selo secundário grita a válvula não pode somente ser usado em ultra-baixos sistemas do processo da temperatura em -200 graus, mas igualmente impede o escapamento de meios perigosos na atmosfera. Usado geralmente para gás especiais eletrônicos muito perigosos, tais como o sistema de enchimento do silane.
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