a tecnologia do encanamento de gás da Alto-pureza é uma parte importante de sistema de abastecimento de gás da alto-pureza, que é a tecnologia chave para entregar o gás exigido da alto-pureza ao ponto do uso e para manter ainda a qualidade qualificada; a tecnologia do encanamento de gás da Alto-pureza inclui o projeto correto do sistema, a seleção dos encaixes e os acessórios, construção e instalação, e testes. Nos últimos anos, as exigências cada vez mais restritas na pureza e o índice de impureza de gás da alto-pureza na produção de produtos da microeletrônica representados por circuitos integrados em grande escala fizeram a tecnologia tranquila de gás da alto-pureza cada vez mais referiram-se e sublinharam-se. O seguinte é uma breve vista geral do encanamento de gás da alto-pureza da seleção material da construção, assim como da gestão do aceitação e a diária.
Tipos de gás comuns
Classificação de gás comuns na indústria eletrónica:
Gás comuns (gás maioria): hidrogênio (H2), nitrogênio (N2), oxigênio (O2), argônio (A2), etc.
Os gás da especialidade são SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... etc.
Os tipos de gás especiais podem geralmente ser classificados como o gás corrosivo, o gás tóxico, o gás inflamável, o gás combustível, o gás inerte, etc. Os gás de uso geral do semicondutor são classificados geralmente como segue.
(i) corrosivo/gás tóxico: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) gás da inflamabilidade: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO… etc.
(iii) gás da combustibilidade: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) gás inerte: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, Ne, Kr, ele… etc.
Muitos gás do semicondutor são prejudiciais ao corpo humano. Em particular, alguns destes gás, tais como a combustão SiH4 espontânea, contanto que um escape reagir violentamente com o oxigênio no ar e começar a se queimar; e AsH3 altamente tóxico, todo o leve escapamento pode causar o risco de vida humana, é devido a estes perigos óbvios, assim que as exigências para a segurança do projeto de sistema são particularmente altas.
Espaço de aplicação dos gás
Como uma matéria prima básica importante da indústria moderna, os produtos do gás são amplamente utilizados, e um grande número gás comuns ou os gás especiais são usados na metalurgia, no aço, no petróleo, na indústria química, na maquinaria, na eletrônica, no vidro, na cerâmica, nos materiais de construção, na construção, na transformação de produtos alimentares, na medicina e em setores médicos. A aplicação do gás tem um impacto importante no de alta tecnologia destes campos em particular, e é seu gás indispensável da matéria prima ou gás do processo. Somente com as necessidades e a promoção de vários setores industriais novos e ciência e tecnologia modernas, os produtos da indústria do gás podem ser desenvolvidos em grandes passos em termos da variedade, da qualidade e da quantidade.
Adubaça0 por gás na indústria da microeletrônica e do semicondutor
O uso do gás jogou sempre um papel importante no processo do semicondutor, especialmente o processo do semicondutor foi amplamente utilizado em várias indústrias, dos ULSI tradicionais, TFT LCD à indústria (MEMS) micro-eletro-mecânica atual, que usam o processo assim chamado do semicondutor como o processo de manufatura de produtos. A pureza do gás tem um impacto decisivo no desempenho dos componentes e dos rendimentos de produto, e a segurança do abastecimento de gás é relacionada à saúde dos pessoais e à segurança de operações de planta.
O significado do encanamento da alto-pureza no transporte do gás da alto-pureza
Em processo do material de derretimento e de fatura de aço inoxidável, sobre 200g do gás pode ser absorvido pela tonelada. Após o processamento de aço inoxidável, não somente sua superfície pegajosa com vários contaminadores, mas igualmente em sua estrutura do metal igualmente absorveu uma determinada quantia do gás. Quando há fluxo de ar através do encanamento, o metal absorve esta parte do gás reenter o fluxo de ar, poluindo o gás puro. Quando o fluxo de ar no tubo é fluxo descontínuo, o tubo fixa o gás sob a pressão, e quando o fluxo de ar para de passar, o gás fixado pelos formulários do tubo uma gota de pressão resolver, e o gás resolvido igualmente incorpora o gás puro ao
Conceito geral da tecnologia limpa para os encanamentos da transmissão e da distribuição
Transmissão altamente pura e limpa do corpo do gás com condução por meio de canos de meios que há umas determinados exigências ou controles para três aspectos do gás ser transportado.
Pureza do gás: O índice da atmosfera da impureza na pureza dos gGas: O índice da atmosfera da impureza no gás, expressado geralmente como uma porcentagem da pureza do gás, tal como 99,9999%, igualmente expressada como a relação do volume do índice ppm da atmosfera da impureza, ppb, ppt.
Seca: a quantidade de umidade do traço no gás, ou a quantidade chamaram a umidade, expressada geralmente em termos do ponto de condensação, tal como o ponto de condensação -70 da pressão atmosférica. C.
Limpeza: o número de partículas do contaminador contidas no gás, tamanho de partícula do µm, quantos particles/M3 a expressar, para o ar comprimido, geralmente igualmente expressado em termos de quantos mg/m3 de resíduos contínuos inevitáveis, que cobre o índice de óleo.
Classificação de tamanho do poluente: as partículas do poluente, consultam principalmente para canalizar a limpeza, desgaste, corrosão gerada por partículas do metal, partículas de fuligem atmosféricas, assim como os micro-organismos, os fago e a umidade-contenção de gotas da condensação do gás, etc., de acordo com o tamanho de seu tamanho de partícula são divididos em
a) grandes partículas - tamanho de partícula acima de 5μm
b) Partícula - diâmetro material entre 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro partículas - tamanho de partícula menos de 0.1μm.
A fim aumentar a aplicação desta tecnologia, para poder à compreensão perceptual de unidades do tamanho e do μm de partícula, um grupo de estado específico da partícula é fornecido para a referência
O seguinte é uma comparação de partículas específicas
Μm do tamanho de partícula do nome do tamanho de /Particle do nome do tamanho de /Particle do nome (µm) (µm)
Aerossol do vírus 0.003-0.0 0.03-1 microdroplet Aerosolized 1-12
Cinza de mosca 1-200 da pintura 0.1-6 do combustível nuclear 0.01-0.1
Inseticidas preto 5-10 do pó de leite 0.1-10 do carbono 0.01-0.3
Bactérias da resina 0.01-1 0.3-30 poeiras 5-100 do cimento
Fumo do cigarro 0.01-1 poeiras da areia 0.5-5 pólens 10-15
Cabelo humano 50-120 do inseticida 0.5-10 do silicone 0.02-0.1
Areia concentrada cristalizada 100-1200 do mar da poeira 1-11 do enxofre de sal 0.03-0.5