Caixa de distribuição de válvulas de múltiplos da Wofly Technology VMB para aplicações de silano

Caixa de distribuição de conjunto de válvula VMB para silanos

Dupla Garantia de Segurança e Precisão na Distribuição de Gases Especiais de Alto Risco

01 Funções Principais

Distribuição multicaminhos de fonte única, controle de filial independente

O equipamento pode dividir um único fornecimento de gás silano de um gabinete de gás especial upstream em diversas ramificações de fornecimento independentes, fornecendo simultaneamente gás para diversas unidades de processo e suportando a personalização de ramificações conforme necessário. Cada ramal é equipada com uma válvula liga/desliga independente e uma unidade de monitoramento de pressão, permitindo controle separado do fluxo de gás e desligamento para manutenção. A manutenção em uma única filial não interfere no fornecimento normal de gás para outras filiais, minimizando o risco de paralisação da linha de produção.

Purga inerte e substituição de vácuo para garantir segurança operacional

O sistema possui linhas de purga de nitrogênio de alta pureza (PN₂) e linhas de extração a vácuo integradas. Antes da manutenção da filial, inicialização ou desligamento do equipamento ou desmontagem e remontagem da tubulação, a tubulação alvo pode passar por uma purga de gás inerte de processo completo e substituição de vácuo, purgando completamente o gás silano residual das linhas e evitando a combustão espontânea causada pelo contato do silano com o ar após a abertura da válvula. Isto está em total conformidade com os requisitos de operação de segurança para sistemas de silano descritos nas Normas Técnicas de Engenharia para Sistemas de Gás Especiais.

Tubulação de aço inoxidável grau 316LEP

Monitoramento de pressão em tempo real e alertas de intertravamento de condições anormais

Cada ramal é equipado com manômetros e sensores de pressão de alta precisão que exibem as condições de pressão em tempo real na entrada e na saída e suportam a configuração de alarmes de limite de pressão superior e inferior. Combinado com válvulas pneumáticas de corte de emergência, o sistema pode cortar rapidamente o ramal correspondente – ou mesmo o fornecimento principal de gás – ao detectar riscos como pressão anormal ou vazamentos de gás. Ele aciona alarmes sonoros e visuais e se integra ao sistema de controle central da planta para obter resposta de emergência em nível de milissegundos.

Proteção selada com pressão negativa, controle centralizado de vazamentos

O sistema emprega uma estrutura de gabinete totalmente fechada, com uma porta de exaustão superior e uma grade de entrada inferior, para manter uma pressão negativa estável dentro do gabinete durante a operação. Mesmo no caso de um vazamento residual, o gás silano é confinado dentro do gabinete e extraído centralmente através do sistema de exaustão para a unidade de tratamento de gases de escape, evitando que o gás vazado se espalhe para a oficina de produção e eliminando os riscos de combustão espontânea e envenenamento em nível espacial.

02 Recursos principais

Projeto de segurança específico para gases de alto risco

Especificamente otimizado para as propriedades explosivas e de autoignição do silano, o sistema pode ser equipado com detectores de gás silano e dispositivos de detecção de chama integrados. Todos os componentes elétricos atendem às especificações à prova de explosão, e o mecanismo de intertravamento de segurança multicamadas está em total conformidade com os padrões de controle para gases especiais de alto risco, excedendo em muito o nível de segurança dos VMBs de gás inerte padrão.

Fornecimento de gás de alta pureza de nível eletrônico

Todos os componentes de fluxo são feitos de aço inoxidável SS316L de grau EP com superfícies internas polidas eletroliticamente. A tubulação é fabricada usando um processo de soldagem de trilha totalmente automatizado, garantindo a ausência de cantos mortos e a liberação de partículas. As válvulas passam por testes de vazamento de hélio com uma taxa de vazamento de ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, garantindo que a pureza do gás silano permaneça inalterada durante todo o processo e atendendo aos requisitos de processos de fabricação de alta precisão.

Design de piso oferece adaptabilidade superior

O design do suporte de piso oferece maior capacidade de carga e elimina a necessidade de instalação na parede. Ele pode ser posicionado de forma flexível em vários ambientes, como ao redor de salas limpas ou ao longo de corredores de gases especiais, tornando-o mais adaptável a layouts complexos de linhas de produção em comparação com VMBs montados na parede.

Válvulas Internas VMB / Válvulas de Diafragma / Manômetros

03 Cenários de Aplicativos Principais

Fabricação de wafers semicondutores

Compatível com processos de deposição de filmes finos, como PECVD, LPCVD e ALD em linhas de produção de wafer, este sistema distribui com precisão o gás silano para vários dispositivos de revestimento, garantindo a estabilidade do processo para deposição de filmes de nitreto de silício e óxido de silício. Ele também atende aos requisitos de controle de segurança para gases de alto risco em salas limpas, tornando-se a configuração padrão para distribuição secundária de gases especiais em fábricas de wafer.

Produção de células fotovoltaicas

Amplamente utilizado em linhas de produção de células de alta eficiência, como TOPCon, HJT e heterojunção, este sistema permite a distribuição de gás silano para várias máquinas durante processos de dopagem e deposição de filmes finos à base de silício. Ele atende às demandas de fornecimento contínuo de gás de linhas de produção fotovoltaica de alta capacidade, ao mesmo tempo que proporciona flexibilidade para modernizações e expansões de linhas, ajudando assim a reduzir custos e melhorar a eficiência.

-VMB-

Fabricação de displays e optoeletrônicos de última geração

Atendendo a linhas de produção de painéis de exibição TFT-LCD, AMOLED e Mini/Micro LED, bem como campos como pré-formas de fibra óptica e semicondutores compostos, fornecemos distribuição e entrega de silano estáveis ​​e controláveis ​​para processos de deposição e gravação de filmes finos, adaptados aos layouts de fornecimento de gás em larga escala e multimáquinas de linhas de produção de alta geração.

Institutos de pesquisa e laboratórios de testes

Fornece soluções de distribuição de silano em pequena escala para P&D de materiais e plataformas de validação de processos em laboratórios universitários e instituições de pesquisa, equilibrando segurança operacional com precisão no fornecimento de gás para atender às necessidades de aplicações experimentais de gás em pequenos lotes e múltiplas condições.

Vantagens de LoboProdutos e serviços de tecnologia

1. P&D e fabricação interna, com excelentes capacidades de personalização

Como uma empresa de alta tecnologia de nível nacional e uma empresa “Especializada, Refinada, Distinta e Inovadora”, a Wofly Technology possui capacidades independentes de P&D e fabricação. A empresa estabeleceu sua própria base de produção de 8.000 metros quadrados, completa com oficinas de montagem de salas limpas Classe 100 e Classe 1.000. Todo o processo de produção de toda a série de produtos VMB – desde o projeto da solução e montagem da válvula até o teste e envio – é concluído internamente. Os produtos podem ser totalmente personalizados para atender às necessidades específicas do cliente em relação ao número de saídas de gás, parâmetros de pressão, modos de controle e cenários de instalação, atendendo às necessidades de linhas de produção em vários setores e em diferentes escalas.

Vista interna do VMB projetado especificamente para Silanos

2. Qualificações completas e conformidade garantida

A empresa possui qualificação de contratação especializada para construção de projetos de instalações mecânicas e elétricas, qualificação GC2 para projeto e instalação de tubulações de pressão e Licença de Segurança do Trabalho. Nossos produtos obtiveram diversas certificações, incluindo CE e ISO 9001. O projeto e a fabricação seguem rigorosamente os padrões nacionais para engenharia de gases especiais, como GB 50646. Todos os equipamentos passam por testes abrangentes de vazamento de hélio e testes funcionais antes de saírem da fábrica, garantindo que estejam prontos para operação compatível no momento da entrega.

Um passeio deLoboSala limpa classe 1.000 da tecnologia

3. Serviço centralizado em toda a cadeia da indústria

Indo além do simples fornecimento de equipamentos individuais, a Wofly Technology fornece uma solução abrangente e completa que cobre todo o processo – desde o planejamento de postos de gasolina especializados, instalação da tubulação principal e layout do nó de distribuição VMB até a tubulação secundária do ponto final. Esta solução abrange todo o ciclo de vida, incluindo consultoria técnica, projeto de sistemas, pré-fabricação e instalação, testes e aceitação, além de treinamento em operações e manutenção. Os clientes não precisam se coordenar com vários fornecedores, reduzindo significativamente os custos de comunicação e gerenciamento do projeto.

Vista interna do VMB projetado especificamente para Silanos

4. Mais de uma década de conhecimento no setor e ampla experiência em implementação

Com mais de uma década de profundo conhecimento na área de gases especiais para a indústria eletrônica, nossos serviços abrangem diversos setores, incluindo semicondutores, energia fotovoltaica, biofarmacêutica e institutos de pesquisa. Implementamos com sucesso centenas de projetos de engenharia de sistemas de gases especiais. Nossa equipe principal possui ampla experiência no projeto e construção de sistemas de gases especiais de alto risco, o que nos permite responder rapidamente às necessidades dos clientes e fornecer soluções ideais adaptadas às condições operacionais reais.

LoboVitrine de gabinetes de gás especial e VMB da Technology

Como “centro final” dos sistemas eletrônicos de gases especiais, o VMB específico para silano é um componente crítico para garantir o fornecimento de gás seguro, estável e de alta pureza às linhas de produção. A Wofly Technology continuará a priorizar a tecnologia, otimizando iterativamente seus produtos para diversas condições operacionais de gases especiais de alto risco para fornecer à indústria de manufatura de ponta soluções de sistemas de gases especiais mais confiáveis ​​e personalizadas.