A WOFLY lança uma caixa de múltiplos de válvulas de silano de alta segurança (VMB) para capacitar a fabricação de semicondutores e PV

(WOFLY), fornecedora líder de sistemas de fornecimento de gás de altíssima pureza, lançou oficialmente sua caixa coletora de válvula de silano (VMB) especializada. Projetado especificamente para a distribuição de gases especiais perigosos, este novo sistema oferece uma dupla garantia de segurança e precisão para processos de missão crítica nas indústrias de semicondutores, fotovoltaicas e optoeletrônicas.

O silano (SiH₄) é uma pedra angular da fabricação de eletrônicos modernos, mas apresenta riscos extremos devido à sua natureza pirofórica e explosiva. A nova série VMB da WOFLY aborda esses desafios através de uma combinação de inovação estrutural e controles de segurança inteligentes.

Distribuição Avançada e Controle Independente

O WOFLY VMB foi projetado para dividir uma única fonte de gás upstream em vários ramos de distribuição independentes, fornecendo gás para diversas ferramentas de processo simultaneamente. Cada filial possui válvulas de corte independentes e unidades de monitoramento de pressão, permitindo manutenção isolada e solução de problemas sem interromper a operação de outras linhas de produção.

Principais recursos de segurança e excelência técnica

1. Sistema de purga e deslocamento inerte

Equipado com linhas integradas de purga e vácuo de nitrogênio de alta pureza (PN2). Isso garante a remoção completa do silano residual antes da manutenção ou troca de equipamentos, seguindo rigorosamente as normas de segurança para evitar combustão espontânea em contato com o ar.

2. Monitoramento em tempo real e alarmes de intertravamento

Sensores e medidores de pressão integrados de alta precisão fornecem resposta em nível de milissegundos. O sistema está ligado a válvulas pneumáticas de corte de emergência e centros de controle das instalações, acionando o isolamento imediato caso sejam detectadas anomalias de pressão ou vazamentos.

3. Gabinete de pressão negativa

O gabinete de aço inoxidável 316L totalmente fechado mantém uma pressão negativa estável. Quaisquer vestígios de vazamento são confinados e extraídos com segurança através de um sistema de exaustão centralizado para uma unidade de redução, eliminando riscos para o ambiente da oficina.

4. Pureza de grau eletrônico

Todos os componentes molhados são feitos de aço inoxidável SS316L EP (eletropolido). Utilizando soldagem orbital automática, o sistema garante um ambiente limpo e livre de partículas com uma taxa de vazamento de hélio ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s, preservando a integridade do gás de alta pureza.

Amplas aplicações industriais

A versatilidade e o design robusto do WOFLY Silane VMB fazem dele a configuração padrão para:

- Fábrica de wafer semicondutor:Essencial para processos de deposição de filmes finos como PECVD, LPCVD e ALD.

- Produção de Células Fotovoltaicas:Amplamente utilizado em linhas celulares de alta eficiência como TOPCon e HJT para deposição de filmes à base de silício.

- Fabricação avançada de displays:Suporta produção de TFT-LCD, AMOLED e Mini/Micro LED.

- Pesquisa e Laboratórios:Fornece distribuição precisa e em pequena escala para pesquisa e desenvolvimento de materiais e verificação de processos.

“Segurança e pureza não são negociáveis ​​no manuseio de gases especiais”, disse o Diretor Técnico da WOFLY. "Nosso novo Silane VMB não é apenas uma caixa de distribuição; é um escudo de segurança abrangente que permite que nossos clientes aumentem sua produção com absoluta confiança."

Para obter mais detalhes sobre o Silane VMB ou para explorar nossa linha completa de soluções de manuseio de gás, visite nosso website emwww.szwofly.comou entre em contato conosco em info@szwofly.com.

Sobre WOFLY

(AFK/WOFLY) é um fabricante especializado e empresa de engenharia com foco em sistemas de fornecimento de gás de alta pureza. Com mais de uma década de experiência, a WOFLY atende a indústria global de alta tecnologia com reguladores de alta precisão, VMBs, gabinetes de gás e soluções integradas de tubulação.